ナノファインAは高純度アルミナ超微粉研磨材です。合成したアルミニウム塩を原料として、熱分解して得られたアルミナのパウダーを独自な方法で粉砕して作られた製品です。
ナ ノファインAは均一な粒子の超微粉体であるため高精度の表面粗さを実現できます。ナノファインAは不純物として金属元素をほとんど含みませんので、各種電 子デバイスを汚損することなくポリッシングすることができます。窒化アルミ(AIN)など粒子がもろい素材、摩耗度の高いレンズ、オレンジピールを起こし やすい素材の研磨に適しています。また、デバイスの多層配線のための平坦化、カラーフィルターの平坦化、複合材料の研磨、MEMSの研磨など、各種電子デ バイスの超精密研磨に最適です。
原料アルミニウム塩の違いにより、AXタイプとADタイプがあります。
純水中に完全に分散させ、特殊な方法で一次粒子のみを取り出し、単分散させたスラリータイプもあります。
ナノファインAXシリーズはドーソナイト法によって作られた、高純度アルミナです。
AX-10は比表面積が約10㎡のαアルミナです。αでありながら一次粒子径は約0.1μと細かいのが特徴で、カラーフィルターなどの軟質な素材の精密研磨に向きます。アルミナ純度は99.95％以上です
AX-250は比表面積が約250㎡のγアルミナです。一次粒子径は6nmと非常に小さく、凝集し二次粒子を作っています。CMPなどの薄膜の超精密研磨に向きます。アルミナ純度は99.95％以上です
ＡＸ-5ＨＭはサファイヤなどの単結晶の原料用に開発されたアルミナ純度99.99％以上の製品です。ニ次粒子径は4～6μｍです。ご希望によりペレット状に加工いたします。
ナノファインADはアルコキシド法によって作られた、99.99%以上の超高純度アルミナです。
AD-8は 比表面積が約８㎡のαアルミナです。アルミナ純度が99.99%以上でほとんど金属元素を含みませんので、電子デバイスを汚損することなくポリッシングで きます。一次粒子径は約0.2μです。凝集して二次粒子を形成しており、AX-10よりは研磨力があります。
AD-8はサファイアなどの単結晶の原料にも用い ることができます。ご希望によりペレット状に加工いたします。
